平面伺服馬達藉由空氣軸承並整合位置感測器，可於單一定子上放置多顆動子在X-Y平面上移動。亦可倒吊操作。
X-Y平台
整合位置感測器可作閉迴路控制
採用空氣軸承故無無磨耗
磁場不外漏，不影響周圍設備
無溫升問題，系統精度相對穩定
可倒吊安裝
定子大小(行程)可依客戶需求客製
LMSP系列
平面伺服馬達藉由空氣軸承並整合位置感測器，可於單一定子上放置多顆動子在X-Y平面上移動。亦可倒吊操作。 X-Y平台 整合位置感測器可作閉迴路控制 採用空氣軸承故無無磨耗 磁場不外漏，不影響周圍設備 無溫升問題，系統精度相對穩定 可倒吊安裝 定子大小(行程)
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