LMX2E系列直线电机特征：
直线度可达10um
X轴Z大6m Y轴0.5m行程
以线性滑轨架构之定位平台
良好接地设计防止噪声干扰
Z向震动可达奈米等级以下
Z大速度可达5m/s
标准重现精度1um或以下
位置回馈系统分辨率Z低可达50nm
LMX2E系列直线电机应用：
半导体设备
自动化搬送
FPD设备
太阳能制造设备
PCB设备
水刀设备
钻石切割产业
AOI检测设备
工具机
LMX2E系列直线电机
LMX2E系列直线电机特征： 直线度可达10um X轴最大6m Y轴0.5m行程 以线性滑轨架构之定位平台 良好接地设计防止噪声干扰 Z向震动可达奈米等级以下 最大速度可达5m/s 标准重现精度1um或以下 位置回馈系统分辨率最低可达50nm L
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